김경준 기자

등록 : 2020.06.17 17:08

SK머티리얼즈, 100% 수입하던 초고순도 불화수소 가스 양산 시작

등록 : 2020.06.17 17:08

2023년까지 국산화율 70% 목표

SK머티리얼즈 연구원들이 연구 중인 제품의 데이터를 확인하고 있다. SK머티리얼즈 제공

지난해 7월 일본이 3대 핵심 소재 수출을 제한한 이후에도 100% 수입에 의존하던 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스가 국내 기술로 양산에 들어갔다.

SK머티리얼즈는 최근 초고순도 불화수소 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다. 회사는 지난해 말 이 소재의 시제품 개발에 성공한 후, 경북 영주 공장 내 15톤 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다. 이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올리는 것이 목표다.

초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로, 반도체 공정 미세화로 수유가 급증하고 있다.

이 회사는 불화수소와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업에 나섰다. 최근 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에 착수하면서다.

회사 측은 “두 제품 모두 초미세 패턴 형성에 쓰이는 대표적인 고부가 제품”이라며 “특히 불화아르곤 포토레지스트는 해외 의존도가 90%에 달한다”고 설명했다. 포토레지스트는 내년에 생산시설을 준공해 2022년부터 연 5만 갤런 규모를 생산하는 것이 목표다.

SK는 일본의 수출 규제 품목뿐만 아니라 미국과 유럽이 과점하고 있는 전기차 필수 소재 사업에도 뛰어들었다. SK실트론이 지난해 미국 듀폰사로부터 차세대 전력 반도체용 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 사업을 인수하면서다.

한편 SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 상생 협력으로 연결, 국내 반도체 생태계 강화에 나선다는 계획이다. SK그룹 내 소재 회사들은 중소 협력사들이 고부가 고순도 가스를 정제하는 과정에서 필요로 하는 기술 및 노하우를 공유할 예정이다. 실제로 SK머티리얼즈는 지난해 11월 경북 영주 본사에 통합분석센터를 설립하고, 한국표준과학원 등 연구기관과 함게 중소기업들에게 분석 서비스를 제공하기 위한 준비 작업에 들어갔다.

SK그룹 관계자는 “투자비나 전문 인력 확보 측면에서 어려움을 겪는 중소기업들에 SK가 보유한 노하우를 공유해 업계 전체가 진화 발전하도록 도울 것”이라며 “중소기업 상생 협력을 강화해 국내 반도체 산업 경쟁력을 제고하고 고용 창출 효과에도 기여하겠다”고 밝혔다.

김경준 기자 ultrakj75@hankookilbo.com

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